Études de cas : Compteur de nanoparticules NanoAir 10 dans la fabrication de semi-conducteurs.
L’utilisation d’un compteur de nanoparticules dans les zones très sensibles de la fabrication de semi-conducteurs permet d’identifier et de contrôler efficacement la contamination afin d’améliorer les rendements.
La détection de nanoparticules aéroportées dans les salles blanches et les mini-environnements pour des tailles de particules allant jusqu’à 100 nm est une pratique courante et a été largement adoptée par la plupart des industries des semi-conducteurs pour valider la propreté de leurs usines de pointe. Il existe un besoin croissant parmi les leaders de l’industrie de surveiller l’air ambiant aussi près que possible de leurs produits pour garantir qu’aucune particule ne réside à l’interface du produit et pour obtenir des compteurs de nanoparticules de 10 nm plus sensibles. L’attention croissante accordée à l’amélioration des performances de rendement des produits grâce à des nœuds technologiques avancés a suscité une discussion raisonnable sur la surveillance intégrée aux outils afin de réduire les nanoparticules qui peuvent avoir un impact sur le rendement. Dans cet esprit, Particle Measurement Systems (PMS) a lancé le nouveau compteur de nanoparticules NanoAir™ 10 qui mesure les particules jusqu’à 10 nm et le système ParticleSeeker™ Smart Manifold qui est le tout premier collecteur conçu pour gérer le transport de nanoparticules. Ce produit ouvre un nouveau monde de possibilités de surveillance, offrant un aperçu d’un angle mort actuel des exigences et des besoins de l’industrie.
Solution de surveillance des outils semi-conducteurs
Le NanoAir 10 Compteur de Nanoparticules est un produit révolutionnaire de Particle Measuring Systems (PMS). Conçu pour surveiller des environnements ultra-propres, il offre une sensibilité de détection de 10 nm avec un débit d’échantillonnage de 2,8 L/min (0,1 CFM).
Le collecteur intelligent ParticleSeeker est un collecteur à 10 ports qui prend en charge les applications nécessitant plusieurs points de prélèvement. Le collecteur peut être utilisé pour surveiller en séquences successives ou programmées.
Pour un aperçu du NanoAir 10 Compteur de Particules à Condensation et du collecteur ParticleSeeker, consultez cette vidéo d’introduction.
Compteurs de particules optiques (OPC)
Les compteurs optiques de particules (OPC) traditionnels permettent de détecter la taille des particules jusqu’à 100 nm. L’avantage des OPC dans les outils de processus est la détection rapide des particules pouvant entraîner des défauts ayant un impact sur le rendement. Cependant, les OPC traditionnels ne permettent la détection de particules que jusqu’à 100 nm et les progrès technologiques permettent la détection de particules de dimensions plus petites..
Compteurs de particules de condensation (CPC) comme compteurs de nanoparticules
Un compteur de particules de condensation (CPC) est un instrument utilisé pour mesurer la concentration de très petites particules dans un milieu gazeux. Les CPC fonctionnent sur la base du concept de croissance de très petites particules jusqu’à une taille à laquelle elles peuvent être comptées par un compteur optique de particules (OPC) traditionnel. Cela se fait en créant une vapeur sursaturée et en déclenchant la condensation de la vapeur sur la surface des particules pour les faire croître jusqu’à une taille plus grande.
Pour plus d’informations sur le fonctionnement des CPC, regardez cette vidéo.