Compteur de particules d’aérosol NanoAir™ 10
Obtenez des informations depuis n’importe quel point de votre environnement ultra-propre grâce à ce compteur de particules par condensation 10 nm – Augmentez le temps de fonctionnement et améliorez le rendement.
Surveillance à l’intérieur des équipements de procédés semi-conducteurs avec le plus petit format du marché
Surveillance ininterrompue, sans maintenance, pendant 12 mois grâce à des mesures continues 24h/24 et 7j/7
Meilleur taux de faux comptages de tous les CPC conçus pour la surveillance des environnements ultra-propres
Détails du produit
Réduisez la contamination et améliorez le rendement là où cela compte le plus grâce à notre compteur de particules par condensation (CPC) NanoAir™ 10 révolutionnaire.
l s’agit du seul système de manifold conçu pour assurer le transport et la distribution de nanoparticules.
Un produit compagnon à manifold 10 ports (ParticleSeeker™) prend en charge les applications nécessitant la surveillance de plusieurs points d’échantillonnage selon des séquences programmées ou séquentielles..
Le système de manifold à 10 ports permet de couvrir l’ensemble d’un EFEM / mini-environnement avec un seul CPC. Jusqu’à 120 pieds carrés de couverture avec le système de manifold.
Temps de commutation entre ports pouvant descendre jusqu’à 0,1 seconde, avec diaphonie minimisée. Le manifold prend en charge différents modes de fonctionnement pour :
- la qualification des équipements
- le suivi des pistes / des procédés
- la réponse automatisée aux événements intégrés de la fab
- le suivi des wafers à l’intérieur des équipements de procédés
Visualisez, analysez et générez rapidement des rapports de données avec notre logiciel FacilityNet Particle Monitoring Software ou via une transmission directe vers des systèmes SCADA tiers ou des équipements de procédé grâce au protocole Ethernet MODBUS.
Un échantillonnage des données jusqu’à 0,1 seconde permet un contrôle précis et des informations exploitables sur les procédés.
Les données ainsi que l’instrument peuvent être accessibles à distance.
L’association du NanoAir 10 avec le HPD-III enables permet l’analyse des gaz inertes à haute pression jusqu’à 10 nm, garantissant un contrôle supérieur de la contamination particulaire des gaz entrant dans des environnements critiques.
Le NanoAir 10 n’utilise aucun système de soustraction de comptage zéro.
Chaque particule est détectée et comptée, garantissant des performances inégalées dans les environnements ultra-propres.
L’instrument présente le meilleur taux de faux comptages de tous les CPC du marché (≤ 1,5 #/m³).
Compteur de nanoparticules NanoAir™ 10 en fabrication de semi-conducteurs
Découvrez comment l’utilisation d’un compteur de nanoparticules dans les zones hautement sensibles de la fabrication des semi-conducteurs permet d’identifier et de maîtriser efficacement la contamination afin d’améliorer les rendements.
Accessoires
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