La spécification de la taille des particules pour les produits chimiques de processus est un contrôle de qualité essentiel pour l’industrie des semi-conducteurs. Les fabricants de microélectronique de pointe exigent des produits chimiques de processus très propres qui sont rigoureusement surveillés pour la contamination et filtrés jusqu’à une taille de particules de 20 nm ou moins.
Particle Measuring Systems (PMS) propose le Chem 20™ comme le capteur de particules le plus sensible au monde, permettant pour la première fois de spécifier en ligne des particules jusqu’à 20 nm. L’échantillonneur de seringue SLS-20, combiné avec le Chem 20, offre la flexibilité de l’échantillonnage par lots hors ligne pour une variété d’applications, y compris la recherche sur les produits chimiques de processus, la production, la distribution et l’emballage.
Lisez ce document pour en savoir plus sur :
- Échantillonnage par lots de produits chimiques de processus de pointe de 20 nm
- Comment le système réalise des avancées en matière de réduction des déchets et de sécurité
- Des enquêtes approfondies sur des cas d’utilisation courants réalisées en collaboration avec les clients de PMS pour une variété de produits chimiques
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