Compteur de nanoparticules spécialement conçu pour être utilisé dans les espaces de fabrication les plus critiques.

Le compteur de particules de condensation NanoAir™ 10 (CPC) est un nouveau produit révolutionnaire de Particle Measuring Systems (PMS). Il offre la sensibilité d’un CPC avec la facilité d’utilisation et la fonctionnalité d’un compteur de particules de salle blanche traditionnel. Conçu pour surveiller les environnements ultra-propres, il offre une sensibilité de détection de 10 nm à un débit d’échantillon de 2,8 L/min (0,1 CFM).

La taille du NanoAir 10 est 83% plus petite que les produits concurrents, ce qui le rend pratique à utiliser n’importe où dans des environnements ultra-propres, y compris à l’intérieur des outils de traitement des semi-conducteurs et des modules frontaux d’équipement (EFEM). La conception innovante du système de traitement des fluides de travail en instance de brevet est robuste et efficace, permettant un fonctionnement continu 24 heures sur 24, 7 jours sur 7, 365 jours sans nécessiter de maintenance ou d’intervention de l’utilisateur de quelque nature que ce soit entre le remplissage et l’étalonnage du fluide de travail requis chaque année. Réduisant ainsi les interruptions d’échantillonnage et de collecte de données et les temps d’arrêt des outils.

Un produit complémentaire de collecteur à 10 ports (ParticleSeeker™) prend en charge les applications nécessitant la surveillance de plusieurs emplacements d’échantillons dans des séquences séquentielles ou programmées.

De plus, le NanoAir est compatible avec les gaz à haute pression avec le HPD-III de PMS, et les données peuvent être visualisées, analysées et rapportées à l’aide du logiciel de surveillance des installations PMS Facility Net ou transmises directement à des systèmes SCADA tiers ou à des entrées d’outils de traitement.

Particle Measurement Systems conçoit, fabrique, installe, calibre, répare et entretient le compteur de particules Nanoair.